Новости

Тематические выпуски/статьи

Современные технологии электронной микроскопии ведущих мировых производителей

15/01/09

Применения Гелиевого Ионного Микроскопа

По материалам журнала «MICROSCOPY TODAY» Larry Scipioni, Lewis Stern, and John Notte
(ALIS Business Unit, Carl Zeiss SMT)

Введение

Необходимость в более точной информации об изображении образца в таких областях, как материаловедение, исследования полупроводников и биологические науки существенно расширили границы возможностей микроскопии с применением заряженных частиц.

Ключевым лимитирующим фактором для всех производителей микроскопов в смысле соответствия возросшим требованиям остается относительная стабильность технологий источника заряженных частиц. В последних поколениях инструментов микроскопии мы видели очень небольшие изменения в технологии источников, в то же время существенные усилия были направлены на уменьшение аберраций, которые ответственны за потери четкости изображения образцов . при всех сопутствующих сложностях и стоимости. Все эти усилия, представляющие собой последовательные расширения возможностей технологий источников, сами по себе не могут решить многие проблемы в области нанотехнологий. Кроме того, существуют многочисленные проблемы в визуализации таких материалов, как полимеры и биологические образцы, которые невозможно решить посредством улучшения разрешения. Их решение предполагает использование другой динамики взаимодействия пучка частиц и образца. В этом смысле прорывной технологией, отвечающей такой проблематике, является Гелиевый Ионный Микроскоп (HIM).

При оценке применимости технологии к визуализации есть три фактора, которые необходимо принимать во внимание: размер исследуемого образца, объем взаимодействия образца с поверхностью (что определяет разрешение), а также объем информации об образце, переносимый частицами, первичными или вторичными, испускаемыми образцом. Технология ALIS . Ионного Источника Атомного Уровня, дает преимущества и новые возможности во всех этих трех областях...